高光谱相机在薄膜厚度监测上的应用

高光谱相机在薄膜厚度监测上的应用

    在薄膜行业和涂层行业中，厚度是一个非常重要的质量参数；厚度和均匀性严重影响着薄膜的性能，

所以必须非常精准的测量薄膜的厚度。而高光谱相机则可以很好的适用于该项应用。

在薄膜行业和涂层行业中，厚度是一个非常重要的质量参数；厚度和均匀性严重影响着薄膜的性能，所以必须非常精准的测量薄膜的厚度。

目前，X射线技术和光谱学技术在薄膜厚度测量方面得到了广泛的应用，不管是在台式监测系统中还是在线监测系统中。

目前使用的一般是单点状的探测器，而在线监测系统一般都是把探测器安装在一个横向扫描的平台上，

得到的是一个之字形的检测点图形而不是整个薄膜，因此只能监测部分样品的厚度。

一个行扫描（推扫式）高光谱相机就可以克服这个限制，它可以监测整个的薄膜或者是涂层区域。在每条线扫描数据中，

光谱数据能覆盖薄膜的整个宽度，并且有很高的空间分辨率。

高光谱相机检测了4种高分子材料薄膜样品的厚度，使用的是型号为Specim FX17(波长935-1700nm)高光谱相机。

薄膜样品的标称厚度为17，20，20和23um. 使用镜面几何的方法，并且仔细检查干图形。通过解析图片上光谱位置及距离，就可以得到厚度值。